Réducteur à entraînement harmonique, boîte de vitesses réducteur RV et réducteur planétaire de précision aident les systèmes de manipulation de plaquettes à atteindre des niveaux d'automatisation plus élevés
Avec l'avancement continu de la technologie, les robots de manipulation de plaquettes atteignent progressivement des niveaux d'automatisation plus élevés pour répondre aux exigences et défis de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.
Le réducteur harmonique, grâce à son absence de jeu, sa précision ultra-élevée (niveau seconde d'arc) et ses caractéristiques légères, est couramment utilisé dans des équipements tels que les bras de manipulation de plaquettes (Wafer Handler), les machines de lithographie (Lithography) et les machines compatibles avec les salles blanches.
Le réducteur RV, en raison de sa rigidité élevée, de son couple élevé et de sa longue durée de vie, est fréquemment employé dans la base des bras robotisés de manipulation de charges.
Le réducteur planétaire de précision, avec sa densité de couple élevée et sa structure compacte, est largement utilisé dans des dispositifs tels que les convoyeurs de plaquettes, les tables tournantes d'indexation et les pré-aligneurs de plaquettes.