Bonjour à tous, je suis Theodore Li, directeur technique chez HONPINE. Dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, le mouvement rotatif ne consiste pas simplement à faire tourner un mécanisme. L'espace d'installation limité, le routage des câbles et des tubes, la stabilité à basse vitesse, le positionnement précis et les profils de mouvement réglables en continu peuvent tous influencer les performances de la machine. C'est pourquoi les actionneurs rotatifs harmoniques deviennent une solution de mouvement importante pour les équipements de semi-conducteurs. Dans cet article, je vais expliquer comment la transmission harmonique, la commande moteur basée sur FOC, le retour codeur, la conception à grand arbre creux et les interfaces mécaniques flexibles fonctionnent ensemble pour répondre aux exigences pratiques de mouvement dans les semi-conducteurs, sur la base de notre expérience dans le développement d'équipements, le transport suspendu, la manipulation de wafers, le nettoyage et les applications de croissance cristalline.