Avec l'avancement continu de la technologie, les robots de manipulation de plaquettes atteignent progressivement des niveaux d'automatisation plus élevés pour répondre aux exigences et défis de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.

● Le réducteur harmonique, grâce à son absence de jeu, sa précision ultra-élevée (niveau seconde d'arc) et ses caractéristiques légères, est couramment utilisé dans des équipements tels que les bras de manipulation de plaquettes (Wafer Handler), les machines de lithographie (Lithography) et les machines compatibles avec les salles blanches.

● Le réducteur RV, en raison de sa rigidité élevée, de son couple élevé et de sa longue durée de vie, est fréquemment employé dans la base des bras robotisés de manipulation de charges.

● Le réducteur planétaire de précision, avec sa densité de couple élevée et sa structure compacte, est largement utilisé dans des dispositifs tels que les convoyeurs de plaquettes, les tables tournantes d'indexation et les pré-aligneurs de plaquettes.

Robots SCARA de Manipulation de Plaquettes Utilisant l'Entraînement Direct

Les robots de type SCARA utilisent des capteurs d'angle haute précision pour la rétroaction de position, facilitant l'ajustement du mouvement du robot et la compensation de l'angle de rotation pour garantir que l'effecteur terminal pointe dans n'importe quelle direction souhaitée.

Dans les articulations J3 et J4 (articulations de l'avant-bras et du poignet) des bras robotisés SCARA, les réducteurs harmoniques jouent un rôle irremplaçable. Le principe de déformation de la roue flexible élastique des réducteurs harmoniques élimine complètement le jeu mécanique, ce qui est crucial pour garantir la précision de placement des plaquettes et réduire l'inertie de l'effecteur terminal.

Réducteurs RV Scellés Aident les Bras Robotisés de Manipulation de Plaquettes sous Vide

En raison de leur rigidité élevée et de leur longue durée de vie, les réducteurs RV sont des composants couramment utilisés dans les bras robotisés de manipulation de plaquettes. Les équipements de manipulation de plaquettes sous vide imposent des exigences plus élevées en matière de propreté et de stabilité.

HONPINE propose des réducteurs RV scellés sur mesure qui peuvent intégrer des moteurs intégrés. La conception scellée facilite l'installation et l'utilisation des réducteurs RV, réduisant le temps d'installation des systèmes de manipulation de plaquettes et améliorant la sécurité de la conception.

Les Réducteurs Planétaires de Précision Offrent une Transmission Efficace et des Options Diversifiées

L'agencement multi-étages des engrenages des réducteurs planétaires de précision minimise la perte d'énergie, atteignant une efficacité de transmission de plus de 90%. Cette caractéristique de conversion d'énergie à haut rendement aide à réduire la consommation d'énergie, offrant des avantages économiques aux entreprises.

Les systèmes de manipulation de plaquettes nécessitent de nombreux équipements, et un seul projet implique souvent des investissements de milliards. Comment économiser efficacement sur les coûts d'investissement initiaux et les dépenses opérationnelles à long terme est une considération clé pour les fabricants.

De plus, la sélection diversifiée de réducteurs planétaires de précision offre aux entreprises des produits qui répondent mieux à leurs besoins. Selon la conception du système de manipulation de plaquettes, des configurations de réduction à un étage, deux étages ou multi-étages peuvent être choisies pour correspondre à différentes exigences de vitesse et de couple.

Les structures robotiques se présentent sous diverses formes. Pour les robots avec des trajectoires fixes et répétitives, la structure et les degrés de liberté appropriés doivent être sélectionnés en fonction des conditions réelles.

Les solutions typiques de rotation pour les bras robotisés incluent :

Rotation du Bras Principal : Moteur servo AC → Réducteur Harmonique/Réducteur RV/Réducteur Planétaire de Précision → Connexion par roulement → Bras principal

Rotation du Bras Secondaire : Moteur servo AC → Réducteur Harmonique/Réducteur RV → Connexion par roulement → Bras secondaire

Lors de la sélection des réducteurs pour les systèmes de manipulation de plaquettes, des facteurs tels que la précision, la propreté, la vitesse et la charge doivent être pris en compte de manière globale.

Contactez HONPINE pour collaborer avec nos experts techniques afin de résoudre les défis de transmission de précision pour les systèmes de manipulation de plaquettes et recevoir les solutions de réducteurs les plus adaptées.